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电子薄膜材料表面电阻率测试方案

发布日期:2022-08-09     作者: 安泰测试     浏览数:   

       概述:
  某一维线性尺度远远小于它的其它二维尺度的材料成为薄膜材料,理论上薄膜材料厚度介于单原子到几毫米,但由于厚度小于100nm的薄膜已经被称为二维材料,因此薄膜材料通常指厚度介于微米至毫米的薄金属或有机物层。
  薄膜材料可以分为非电子薄膜材料和电子薄膜材料,非电子薄膜材料不需要对其电学特性进行分析,不是本方案针对的对象,电子薄膜又可分为导电薄膜,半导体薄膜,介质薄膜,电阻薄膜,磁性薄膜,压电薄膜,光电薄膜,热电薄膜,超导薄膜等,表面电阻率是电子薄膜电学性质的重要参数。
  电子薄膜材料表面电阻率测试

表面电阻率测试常用方法是四探针法与范德堡法,但对电子薄膜材料,范德堡法很少应用。多数情况下,电子薄膜材料表面电阻率测试对测试仪器的要求没有二维材料/石墨烯材料高,用源表加探针台即可手动或编写软件自动完成测试。

电子薄膜材料表面电阻率测试

  电子薄膜材料电阻率测试面临的挑战
  电子薄膜种类多,电阻率特性不同
  需要选择适合的SMU进行测试
  被测样品形状复杂,需选择适当的修正参数
  厚度修正系数对测试结果的影响F(W/S)
  圆片直径修正系数对测试结果的影响
  温度修正系数对测试结果的影响
  环境对测试结果有影响
  利用电流换向测试消除热电势误差
  利用多次平均提高测试精度
  需要考虑测试成本
  泰克吉时利电子薄膜材料测试方案
  1.通用配置
  a.2450/2460/2461
  b.四探针台(间距1mm)

c.测试软件(第三方)

泰克吉时利电子薄膜材料测试方案

  2.高阻电子薄膜材料测试方案
  a.6221/2182A+6514*2+DMM6500
  b.第三方探针台

c.手动或软件编程

高阻电子薄膜材料测试方案

  方案优势
  1.不同配置满足不同电子薄膜材料电阻率测试需求
  2.高精度SMU,即可手动测试,也可以编程自动测试
  3.高性价比
  安泰测试作为泰克吉时利长期合作伙伴,专业提供设备选型和测试方案,且为西安多家企业和院校提供吉时利源表现场演示,并获得客户的高度认可,如果您想了解更多测试应用方案,欢迎访问安泰测试网www.agitek.cn


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