吉时利 2636B 数字源表测电导率原理、接线与实操指南

电导率反映材料导电能力，在半导体薄膜、导电涂料、锂电池电解质、离子液体等研发与质检中都是核心指标。测准电导率的关键，在于微电流激励与高精度电压 / 电流采集 —— 这正是吉时利（Keithley）2636B 双通道数字源表（SMU）的强项。

一、为什么选 2636B

2636B 单机整合精密电压源、电流源、6½ 位万用表与四线欧姆表：电流分辨率 0.1fA、电压分辨率 100nV，直流电压基础精度 0.012%、电流 0.03%；单通道最高输出 200V/10A（脉冲），四象限工作可源可载。双通道可一路源、一路测，或两路同步激励，配合 TSP 脚本可在机内自动跑完 I-V 扫描并算出电导率，无需外挂电脑反复传数。

二、测量原理

电导 G=I/V，单位西门子（S）；电导率 σ=G×(L/A)，L 为电极间距、A 为电极截面积，单位 S/cm。两类典型接法：

四探针法（固体薄膜 / 半导体）：外探针通恒流 I，内探针测压降 V，薄层电阻 Rs=4.532×V/I，体电导率 σ=1/(Rs×t)，t 为膜厚。

电导池法（电解质 / 离子液体）：两电极间夹被测液，直接按 σ=L/(A・R) 计算。

三、实操步骤（以薄膜四探针为例）

选电流量程：先估膜厚电阻，用恒流激励，电流取 50µA~1mA，避免自热。

接线：探针台三同轴（Triax）电缆接 2636B，开启四线 / 开尔文模式消除引线电阻，屏蔽罩接地。

配置：通道 A 设为电流源输出 I，通道 B（或同通道）测电压 V；设置源延迟与 NPLC（如 0.1~1）稳定读数。

施加激励后多点采样取平均；高阻样品改脉冲源（脉宽 < 1ms）抑制自热。

用 TSP 脚本批量测试多点，自动输出 Rs 与 σ。

四、注意事项

电导率随温度显著变化，需恒温（如 25±0.5℃）并记录温度。

探针间距、压力固定，几何因子按探针间距 / 膜厚修正。

测前做开路 / 短路校准，排除漏电流与接触电阻。

高阻样品（>1GΩ）注意屏蔽与清洁绝缘面，避免表面漏电。

结语：2636B 以亚皮安级分辨率和双通道能力，覆盖从薄膜到电解质的电导率测试，配合 TSP 脚本可实现快速、可复现的自动化测量，是材料研发与产线抽检的高性价比选择。