Keithley 6517B 静电计使用方法详解

Keithley 6517B 静电计是一款高精度、多功能的测量仪器，广泛应用于微电流、高电阻、电荷及电压等参数的精确测试，尤其适用于半导体、材料科学及精密电子元件的特性分析。正确掌握其使用方法，对确保测量准确性与操作安全性至关重要。

一、操作前准备

使用前需确保仪器可靠接地，通过三同轴电缆连接输入端口，有效抑制电磁干扰。开机时长按前面板“POWER”键3秒，仪器将自动执行自检程序，显示版本信息与校准状态。根据测量需求，通过“FUNCTION”键选择电流（I）、电压（V）、电阻（R）或电荷（Q）模式，并通过旋钮或“RANGE”键设定合适量程，亦可启用“AUTO”自动量程功能。

二、基础测量操作

● 电流测量：将三同轴电缆中心导体接入被测电路，外层屏蔽接地。测量前应短接输入端，按“ZERO”键调零，消除本底电流干扰。按“TRIGGER”键启动测量，屏幕实时显示电流值，可按“HOLD”键锁定数据。

● 电阻测量：在电阻模式下，通过“SOURCE”键设置测试电压（如10V至1kV），采用四线法连接被测电阻，高压端接Hi，低压端接Lo并接地或浮地。启用“Method Connect”功能，实现内部电压源与电流表串联，从而实现“加压测流”。

● 电荷测量：连接待测电容后，设置积分时间（1ms–100ms），按“TRIGGER”启动积分，仪器自动计算并显示总电荷量。

三、高级功能与环境优化

为提升测量精度，建议将样品置于电磁屏蔽箱内，控制环境温湿度（推荐23±1℃，湿度<50%RH），并使用离子风机消除静电。测量高阻或微电流时，启用“FILTER”低通滤波和“AVERAGE”平均功能，可显著降低噪声干扰。通过“SWEEP”功能可实现电压扫描，结合KickStart软件自动采集I-V曲线，支持导出CSV格式用于分析。

四、维护与注意事项

定期清洁输入端口，检查电缆磨损情况，避免漏电。高阻测量时严禁触碰测试线，防止人体引入漏电流。若数据波动大，应检查接地与屏蔽状态；出现超量程提示时，应及时调整量程或排查电路短路。

测量结束后，应先断开输出，再关闭电源。建议定期执行自校准或送至授权服务中心进行年度校准，确保长期测量精度。

熟练掌握Keithley 6517B的使用方法，不仅能提升测试效率，更能保障数据的科学性与可靠性，是精密电学测量不可或缺的技术支撑。