电学测试平台

设备简介：

1.纳米级探针台：能够耦合其他电学测量设备，针对相变存储器件原型，在加载电学脉冲信号的同时原位测量其电学性能，测试器件的稳定性、存储速度、使用寿命等参数。

2.任意波形发生器AWG5200：主要用于对各类参数的电学信号进行模拟和显示，除加载标准的函数波形脉冲，也可以借助软件编辑和绘制一些特殊的波形脉冲;

3.数字荧光示波器MSO64：主要用于测量和分析各类电学信号，可以在加载电压、电流或电脉冲的过程中动态观测并记录波形信号，分析材料在不同波形下的电学性能;

4.双通道源表2600-PCT-1B：配置了电流-电压测量模块，通过对样品施加电流同时测量电压，或者施加电压同时测量电流来获得样品动态的电压-电流参数。

5.HCP621GP原位加热冷却台设备：由原位加热冷却台主机、mK2000控制器、LN2-P液氮泵、C100W循环水机和液氮罐组成。通过PID精密温控，能够在变温下原位测量薄膜材料的电学性能，并通过电阻值变化判断材料的相结构。

主要参数：

任意波形发生器AWG5200设备最小脉宽为400ps;

数字荧光示波器MSO64设备的带宽为1GHz，具有4个通道;

双通道源表2600-PCT-1B设备的最大电流分辨率为0.1fA，最大电压分辨率为100nV;

HCP621GP原位加热冷却台设备设备的变温范围为-180～600℃，最大变温速率为130℃/min。

测试项目：

测试器件及材料(含薄膜材料)的稳定性、存储速度及其他电学性能

范德堡法测量电阻;

温度-电阻测试;

电阻漂移测试;

I-V测试;

变脉高测试;

变脉宽测试;

循环测试;

样品要求：

样品不得具有放射性、毒性和腐蚀性。

测试时间：

1~2周

测试结果类型：

excel表格