相位调制型高精度光谱椭偏仪

设备简介：

 UVISEL Plus椭圆偏振光谱仪为先进薄膜、表面和界面表征提供了模块化和性能的优化组合。 UVISEL Plus作为一款 高准确性、高灵敏度、高稳定性的经典椭偏机型 ，它采用了PEM 相位调制技术，与机械旋转部件技术相比， 能提供更好的稳定性和信噪比。

主要参数：

1.光谱范围190-885nm，可扩展至2100nm
2.测量范围：Psi= 0°- 90°，Delta= 0°- 360°，无死区。
3.光源: 高稳定75 W氙灯
4.光弹晶体调制，频率≥50kHz，恒温控制
5.测量重复性（80-100nm SiO2/Si样品，30次测量标准偏差 1δ）：厚度d≤0.4Å，折射率n（633nm）≤0.0003。
6.透明基底：自动收集背反射，背反射抑制处理能力。

测试项目：

光谱190-2100nm内的薄膜折射率以及消光系数；
表征有机/无机块体材料以及薄膜样品厚度以及介电常数；
薄膜的厚度/介电常数的均一性Mapping测试。

样品要求：

本仪器适合有机/无极薄膜以及块体结构的光学参数测试
样品表面必须光滑，能够发生镜面反射
薄膜以及块体材料的直径大小：1 cm<样品<20 cm

测试时间：

1~2周

测试结果类型：

txt、rtf格式