系统背景：

　　电阻率是决定半导体材料电学特性的重要参数，为了表征工艺质量以及材料的掺杂情况，需要测试材料的电阻率。半导体材料电阻率测试方法有很多种，其中四探针法具有设备简单、操作方便、测量精度高以及对样品形状无严格要求的特点。目前检测半导体材料电阻率，尤其对于薄膜样品来说，四探针是最常用的方法。

　　四探针技术要求使用四根探针等间距的接触到材料表面。在外边两根探针之间输出电流的同时，测试中间两根探针的电压差。最后，电阻率通过样品的几何参数，输出的电流和测到的电压值来计算得出。

　　四探针法测量半导体电阻率测试方案，使用美国吉时利公司开发的高精度源测量单元（SMU），既可以在输出电流时测试电压，也可以在输出电压时测试电流，。输出电流范围从皮安级到安培级可控，测量电压分辨率高达微伏级，。支持四线开尔文模式，因此适用于四探针测试，可以简化测试连接，得到准确的测试结果。

　　不同材料的电阻率特性

　　方案特点：

　　-系统提供上位机软件，内置电阻率计算公式，符合国标硅单晶电阻率测试标准，测试结束后直接从

　　电脑端读取计算结果，方便后续数据的处理分析；

　　-提供正向/反向电流换向测试，可以通过电流换向消除热电势误差影响，提高测量精度值；

　　-四探针头采用碳化钨材质，间距1毫米，探针位置精确稳定。采用悬臂式结构，探针具有压力行程，

　　针对不同材料的待测件，不同针尖直径的针头选项；

　　-探针台具备粗/细两级高度调整，细微调整时，高度分辨率高达2微米，精密控制探针头与被测物之间

　　的距离，防止针头对被测物的损害；

　　-载物盘表面采用绝缘特氟龙涂层，降低漏电流造成的测试误差。

　　高品质四探针头，提供多种针尖直径

　　粗细两级针臂高度调节，分辨率高达2um

　　软件功能：

　　-输出电流并测试电压，电阻，电阻率，电导率，薄层电阻等，记录数据，并根据测试结果绘制曲线；

　　-软件在Windows 7/8/10平台下使用，测试方法符合GB/T 1551/1552等国家测试标准；

　　-提供多种修正参数帮助提高电阻率测试精度；

　　-配合吉时利2450/2460/2461高精度源表使用，确保测试精度和一致性。

　　系统结构：

　　系统主要由吉时利源表（SMU）、四探针台和上位机软件组成。四探针可以通过前面板香蕉头或后面板排线接口接到源表上。

　　系统指标：

　　电阻率测试范围：0.001Ω⋅cm~100MΩ⋅cm

　　探针头压力合力：S型悬臂式弹簧，合力6~10 N

　　绝缘电阻：500V下>1GΩ

　　系统误差：<2%(<1Ω⋅cm时，误差小于0.5%)

　　探针头间距：1mm,1.27mm,1.59mm可选，使用红宝石套轴，探针游移率<0.2%

　　针尖压痕直径：25 um~450um不同规格可选

　　通信接口：LAN/USB/GPIB

　　探针台尺寸：240mm x 160mm x 280mm

　　系统配置：

　　四探针探针台

　　四探针针头

　　源表端四线香蕉头连接线

　　四探针测试软件

      以上就是吉时利源表在四探针法测量半导体电阻率测试方案的相关介绍，如果您有更多疑问或需求可以关注西安安泰测试Agitek哦！非常荣幸为您排忧解难。